2018年江苏高端装备研制赶超工程项目申报指引-江苏经信委

2018年江苏省高端装备研制赶超工程

项目申报指南

根据《江苏省高端装备研制赶超工程实施方案》，现制定2018年江苏省高端装备研制赶超工程项目招标指南如下：

一、前沿新材料制造装备领域

专题一：12英寸半导体硅单晶炉1.总体要求

通过自主研发，掌握先进成熟的单晶生长工艺，开发出适用半导体集成电路产业链上游原料生产的设备，形成从设备到单晶生长热场与工艺的整套解决方案。单晶炉拉晶过程要求全自动控制，工艺稳定性好，能耗低。

目标产品具有自主知识产权，整体技术达到国际先进水平，并符合行业现行相关标准。

2.关键技术指标

单晶棒直径：≥12英寸；晶向：100，111，110；晶体直径控制范围：±2mm/1000mm；等径功率：≤65kw；热场：≥32英寸；

一次装料量：≥400kg；

主要热场部件寿命：180炉次。专题二：硅片智能在线检测分选设备1.总体要求

通过自主研发，实现光伏硅片几何尺寸和线痕、翘曲、崩缺、表面瑕疵、隐裂、电性能等的高速检测和分选，可兼容砂浆、金刚线、树脂等不同切割工艺生产的黑硅、多晶硅、单晶硅硅片产品；采用人工智能深度学习技术，对海量产品瑕疵特征实现自动归纳和建模；与mes系统无缝对接，满足智能工厂数字化车间一体化需求，实现数据管理与可视化分析统计功能，支持在线故障诊断与分析。

目标产品具有自主知识产权，整体技术达到国际先进水平，本指南未列技术指标应不低于相关国家标准或行业标准要求。

2.关键技术指标

设备检测分选能力：≥8200片/小时；误判率：≤2%；漏检率：≤0.55%；碎片率：≤0.05%。

专题三：高效异质结hit-pecvd设备1.总体要求

自主研发基片损伤低的高效频率匹配系统快速生成稳定等离子体；自主研发可双层生产的真空腔体，保持稳定、清洁的高效沉积成膜环境；腔体间连接传输工艺先进、生产流畅；控制系统的界面友善、操作简单、数据采集方便。

目标产品具有自主知识产权，整体技术达到国际先进水平，本指南未列技术指标应不低于相关国家标准或行业标准要求。

2.关键技术指标

设备产能：≥2800片/小时（生产n型m2单晶硅片时）；hit电池平均效率：≥22%；hit电池效率非均匀性：≤3%。

专题四：分子束外延生长—扫描隧道显微镜（mbe-stm）集成设备

1.总体要求

研制兼具stm、mbe产品的所有功能的分子束外延生长—扫描隧道显微镜（mbe-stm）集成设备，通过原位生长、原位显微技术，对薄膜生长过程进行结构和形貌的表征监控，实现在高真空环境下，在mbe内实施样品的制备，并将样品从mbe到stm进行精确传递，应用stm对样品表面进行原子分辨级别的实空间成像。

目标产品具有自主知识产权，整体技术达到国际同类产品先进水平。

2.关键技术指标

1）扫描隧道显微镜（stm）的性能指标本底真空：≤2×10-10mbar；漏率：≤10-12mbar·l/s；

x、y方向分辨率：≤0.1nm（大气环境中、室温下，高定向热解石墨的原子分辨率）；

z方向分辨率：≤0.01nm（大气环境中、室温下，高定向热解石墨的原子分辨率）；

x、y方向最大扫描范围：≥2μm×2μm；z方向最大扫描范围：≥500nm；进针马达最大移动距离：≥6nm。

2）分子束外延生长系统（mbe）的性能指标本底真空：≤2×10-10mbar；漏率：≤10-12mbar·l/s；

样品温度。室温至1600℃（选配制冷模块可达-120℃至1600℃）。

二、节能环保装备领域

专题一：高效三元流煤气压缩机1.总体要求